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無錫臻泰半導(dǎo)體科技有限公司

半導(dǎo)體清洗

半導(dǎo)體等離子清洗公司

清洗是什么？主要清洗技術(shù)清洗適用圖片

1. 半導(dǎo)體清洗是什么？

半導(dǎo)體清洗是清除客戶社設(shè)備配件在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的污染物的工程。
通過多種半導(dǎo)體清洗辦法除去客戶制造工程中發(fā)生的污染，延長配件壽命，提高客戶工序的收率，開動率更大化， 為顧客節(jié)約成本提供多種半導(dǎo)體清洗解決方案。

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半導(dǎo)體清洗初期階段
  • 引進(jìn)半導(dǎo)體配件清洗技術(shù)
  • 各材質(zhì)、各工藝精密清洗
  • 改善物理清洗技術(shù) →
    CO2 Cleaning, Bead, Arc Coating
  • 0.3 ? Size P/C 控制
產(chǎn)品表面處理更優(yōu)化
  • 提高各種物理清洗技術(shù) →
    符合客戶多樣化的需求
  • 多功能的產(chǎn)品&復(fù)合材料的產(chǎn)品清洗
  • 清洗工藝的準(zhǔn)確性
  • 0.1 ? Size P/C 控制
引進(jìn)Nano 半導(dǎo)體清洗技術(shù)
  • 表面處理更優(yōu)化 → 改善工藝收益率
  • 通過增加產(chǎn)品的表面積減少P/C Source
  • 清洗工藝的準(zhǔn)確性 → 引進(jìn)質(zhì)量管理體系
  • 0.04 ? Size P/C 控制
Nano 半導(dǎo)體清洗技術(shù)的發(fā)展
  • SMART Factory – Automation
  • 根據(jù)不同產(chǎn)品適用不同方案
  • 微細(xì)工藝控制 → 減少客戶工藝Defect
  • 環(huán)保清洗技術(shù)發(fā)展
  • 產(chǎn)品壽命增加，Delivery Time 減少
  • 0.01um Size P/C 控制

主要半導(dǎo)體清洗技術(shù)

根據(jù)客戶的各種工藝和配件提供合適的清洗技術(shù)。
不僅去除工藝污染物，還將配件表面 維持在更佳狀態(tài)，控制顆粒，為了提供延長產(chǎn)品壽命的更佳解決方案進(jìn)行堅持不斷地研究開發(fā)。

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CuStrip? CleanPeel? SurFinish? SurfRestore?
使用目的 將適用Cu工藝的配件的母材損傷減至更小，去除工藝污染物 通過將配件損傷減至更小以延長產(chǎn)品壽命 Al CVDShowerhead 母材和HoleDamage 減少 復(fù)原Quartz 材質(zhì)產(chǎn)品的PlasmaEtching表面損傷
效果 減少母材Etch Rate
延長產(chǎn)品壽命		 延長產(chǎn)品壽命 Particle Source減少
維持GasFlowUniformity		 改善Particle
延長產(chǎn)品壽命
適用產(chǎn)品 Al Collimator、Al CoverRing 等 PVD 工藝Shield 類 CVD 工藝Show erhead Quartz Window,
Quartz pedestal等
效果 半導(dǎo)體等離子清洗公司 半導(dǎo)體等離子清洗公司 半導(dǎo)體等離子清洗公司 半導(dǎo)體等離子清洗公司

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